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磁控溅射系统新发展趋势

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磁控溅射系统新发展趋势

发布日期:2019-11-22 作者: 点击:

一般而言,增强系统某一部分的功能将带来整体功能的增强,同时减少系统对某些部分的依赖,或者可以理解为:两个必要因素 该系统有机地合并为一个部分。 建立一个全面的设计系统有助于研究系统各个部分的内部逻辑关系。

溅射技术的出现和应用经历了许多阶段。 首先,这只是一个简单的两极和三极放电溅射沉积。 经过30多年的发展,磁控溅射技术已经发展成为一种不可替代的方法,用于制备功能膜,例如超硬,耐磨,低摩擦系数,耐腐蚀,装饰,光学和电气。

磁控溅射系统

磁控溅射系统是该领域的另一项重大进步。 直流反应溅射法沉积致密,无缺陷的绝缘膜(尤其是陶瓷膜)几乎是不可能的,因为沉积率低,目标材料容易产生电弧放电,并且其结构,成分和性能 被改变了。 这些缺点可以通过使用脉冲磁控溅射技术来克服。 脉冲频率为10〜200kHz,可有效防止目标电弧放电并稳定反应溅射沉积工艺,从而实现高质量反应膜的高速沉积。

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关键词:磁控溅射系统,磁控溅射镀膜仪,离子束溅射系统

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